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產品簡介：

OWT-200平整度測試系統，采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量。

產品特點：
■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；
■無接觸測量；
■無需校準；
■高精度、高重復性；
■樣品臺可選：4寸、6寸、8寸；
■強大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
■同時進行各種參數的測量，具備超高的測試速度；

技術參數：
■TTV
■精確度：±0.1um
■重復性精度：0.01um

■厚度
     ■精確度：±0.2um
     ■重復性精度：0.1um
     ■測試范圍：50-2000um

■翹曲度/彎曲度
     ■精確度：0.5um
     ■重復性精度：0.2um
     ■測試范圍：200um

■整機參數
     ■測量時間：<100秒
     ■最大測量尺寸：8寸
     ■尺寸：550*602*291mm
     ■整機功率：800W

典型客戶：
藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。

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