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平整度檢測方案
平整度是晶片很重要的參數(shù)，直接決定了片子合格與否，檢測平整度的方法很多，但目前看來國際還是依托于SEMI標(biāo)準(zhǔn)。參數(shù)的定義，檢測的精度都是需要認(rèn)真考慮的。
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