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耗材輔料品質(zhì)提升解決方案 >> 藍寶石和碳化硅籽晶選擇方案
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藍寶石籽晶選擇方案
藍寶石晶體的內(nèi)在質(zhì)量、晶體缺陷、雜質(zhì)濃度等直接關系到外延層和器件的質(zhì)量及成品率。因此準確地顯示出晶體缺陷、研究其形成機理和控制及消除技術對制備高質(zhì)量晶體是非常重要的。
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