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晶體表面油污檢測及處理方案
晶片表面有油污，很難以檢測到，即便用KLA也難以判斷，這主要是有檢測原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延，就會嚴(yán)重影響到LED的品質(zhì)，使成品率下降。所以，如果要排除污染，就必須有一個(gè)專業(yè)的設(shè)備進(jìn)行探測與判斷。
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